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臭氧氣體輸送系統(tǒng)

臭氧氣體輸送系統(tǒng)，可產(chǎn)生超純、可靠的臭氧氣體。在清潔的半導(dǎo)體環(huán)境中，借助臭氧氣體反應(yīng)實(shí)現(xiàn)原子層沉積 (ALD) 和蝕刻 (ALE) 等薄膜沉積工藝。高純度、高濃度臭氧氣體能夠產(chǎn)生更高的薄膜密度，從而提高產(chǎn)品產(chǎn)量、產(chǎn)品性能和可靠性。

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產(chǎn)品特點(diǎn)

臭氧濃度高

氣體流量高

采用超純發(fā)生技術(shù)

無(wú)氮?dú)鈸郊蛹夹g(shù)

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我們與國(guó)內(nèi)的臭氧運(yùn)行及

應(yīng)用技術(shù)專家長(zhǎng)效合作
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協(xié)同您對(duì)臭氧發(fā)生系統(tǒng)中

相關(guān)設(shè)備進(jìn)行升級(jí)改造

青島國(guó)林科技集團(tuán)股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“國(guó)林科技”）成立于1994年，是集科、工、貿(mào)于一體的高新技術(shù)企業(yè)，是臭氧產(chǎn)生機(jī)理研究、臭氧設(shè)備的設(shè)計(jì)與制造、臭氧應(yīng)用工程方案設(shè)計(jì)、安裝、調(diào)試、運(yùn)行及維護(hù)的專業(yè)化公司，擁有占地130余畝的臭氧設(shè)備生產(chǎn)基地，是國(guó)內(nèi)臭氧行業(yè)的領(lǐng)軍企業(yè)。國(guó)林科技（證券代碼：300786.SZ）于2019年7月23日正式登陸深交所創(chuàng)業(yè)板掛牌交易，是臭氧行業(yè)首個(gè)上市企業(yè)。

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